韩国掩膜制造商S&S Tech宣布2026年全线%,这一消息在半导体行业引发涟漪。掩膜版作为光刻工艺的“底片”,直接决定着芯片制造的精度与良率。而制造掩膜版所需的高纯度石英材料,正成为全世界半导体供应链的潜在风险点。
随着芯片制程不断缩小,对掩膜版的要求日益提高。当前全球高端掩膜版市场主要由日本豪雅、韩国S&S Tech等企业主导,而中国掩膜版产业正处在机遇与挑战并存的关键发展阶段。
中国掩膜版产业已形成一定基础,但在高端领域仍面临严峻挑战。国内掩膜版市场规模持续增长,2024年已达到约180亿元,全球市场规模约为530亿元。平板显示掩膜版领域,中国企业的全球市场占有率预计到2025年将超过60%。
在半导体掩膜版领域,国内企业目前大多分布在于350-180nm制程节点的掩膜版生产,部分厂商已掌握130nm制程节点的生产技术。清溢光电作为国内成立最早的掩膜版生产企业之一,已实现180nm工艺节点半导体芯片掩膜版的量产,并完成了150nm工艺节点掩膜版的小规模量产。路维光电则在当前下游需求旺盛的背景下,生产接近满载,公司正加快在平板显示掩膜版以及半导体掩膜版领域的投资节奏。
龙图光罩作为国内稀缺的独立第三方半导体掩膜版厂商,已实现130nm工艺节点半导体掩膜版的量产,技术实力在国内第三方半导体掩膜版厂商中达到领先水平。中芯国际作为国内领先的晶圆制造企业,其自建的掩膜版工厂主要服务于自身先进制程的芯片制造需求。华润微电子旗下的迪思微电子也在掩膜版领域有所布局。合肥丰创光罩拥有10.5代平板显示掩膜版项目,致力于满足大尺寸显示面板的需求。
尽管国内掩膜版企业在产能和技术上取得了一定进步,但在28nm及以下的先进制程领域,掩膜版生产仍主要由国际领先的晶圆厂内部完成,或依赖日本、美国的专业掩膜版供应商。全球半导体掩膜版市场,晶圆厂自建掩膜版工厂占据65%的市场占有率,独立第三方掩膜版厂商占据35%的市场占有率,其中美国的Photronics、日本的Toppan和DNP三家公司占据了独立第三方市场82.9%的份额。这表明国内掩膜版企业在高端领域仍需加速追赶。
石英玻璃作为掩膜版的核心基板材料,其纯度、耐热性和光学性能直接决定掩膜版的质量。全球石英玻璃市场由国际巨头主导,呈现“国际五强+中国梯队”的竞争格局。
德国贺利氏(Heraeus)在5N级(纯度99.999%)高纯度石英玻璃领域技术领先,其产品通过英特尔等国际芯片巨头的认证。美国迈图(Momentive)在通信领域占据优势,其光纤预制棒产能全球第一,占据通信市场35%的份额。日本企业则占了重要地位,东曹(Tosoh)、信越化学(Shin-Etsu)以及MARUWA都是全球市场的重要参与者。
中国石英玻璃产业近年来发展迅速,一批本土企业正努力提升技术水平和市场占有率。石英股份在光伏用石英坩埚市场占据领头羊,凭借成本优势实现了较高的市场占有率。菲利华专注于半导体用石英纤维技术,已获得中芯国际等国内龙头晶圆厂的订单。太平洋石英作为国内早期进入高纯石英砂领域的企业之一,在全球高纯石英砂产能中占据一席之地[ccitation:7]。
江丰电子虽然基本的产品为半导体溅射靶材,但其在半导体材料领域的积累和技术能力,为其向石英玻璃等其他半导体材料领域拓展提供了潜在可能。晶盛机电在晶体生长设备领域具有优势,其设备可用于石英材料的制备和加工。神工股份专注于半导体硅材料,其在高纯度晶体材料领域的经验对石英玻璃的研发有借鉴意义。
目前,中国厂商通过性价比优势已占据石英玻璃中低端市场20%的份额,但高纯度产品占比不足10%。高端石英玻璃市场依然被国际巨头主导,国内企业在最顶级的4N8级(纯度99.999%)及以上产品的稳定、规模化生产方面,与国际领先水平仍有差距。石英基板供应商大多分布在在日本与韩国,这些供应商占据了高世代石英基板及先进光学膜市场的主导地位,这对国内掩膜版产业的原材料供应安全构成了挑战。
高纯度石英砂是制造石英玻璃的核心原料,其纯度等级直接决定了最终石英玻璃产品的性能和应用领域。全球高纯石英砂供应格局高度集中,美国尤尼明(Unimin)通过专利技术控制着5N级以上石英砂的供应,占据半导体级市场70%的份额。挪威TQC也是全球高纯石英砂的重要供应商。这两家企业与中国的江苏太平洋石英股份合计占据了全球85%的高纯石英砂产能。
中国在高纯度石英砂领域面临着资源瓶颈和技术鸿沟的双重挑战。虽然中国是石英资源大国,但可用来生产高端高纯石英砂的优质花岗伟晶岩型石英原料相对缺乏,高端产品的石英原料严重依赖从美国等地进口。国内企业在4N5级产品上已实现突破并实现70%的自给率,但在最顶级的5N级石英砂方面仍然依赖进口,导致高端石英玻璃成本中原料占比超过40%。
为破解原材料瓶颈,国内企业和科研机构正积极投入研发。石英股份在光伏用石英坩埚所需石英砂领域形成了供应能力。菲利华在半导体用石英材料方面的技术积累,使其对高纯度石英砂的理解和应用更为深入。江丰电子在半导体材料领域的横向扩展可能性前文已述。浙江巨化虽然传统优势在氟化工领域,但其在高纯度化学材料方面的生产能力需要我们来关注。中旗股份主要是做农药和精细化学品的研发、生产和销售,其在高纯度化学品生产方面的经验可能对石英砂的化学提纯有所裨益。
国内高纯石英产业的崛起,很大程度上依赖于上游石英砂材料的突破。目前,经过酸洗提纯等工艺,国内4N级石英砂自给率已达到70%。但要实现5N级高端石英砂的国产替代,仍需在原料矿源品质和深度提纯技术上进行攻关。优质的花岗伟晶岩型石英矿被公认为是最理想、也是目前唯一能大规模稳定工业化制备4N8级高纯石英的原料。国内已在新疆阿尔泰、河南东秦岭-大别山等地的花岗伟晶岩带发现了具备潜力的矿源,并在实验室提纯中成功制备出了4N8级的高纯石英砂,但这距离大规模稳定工业化生产还有差距。
掩膜版产业链的国产化进程面临多重挑战。技术差距是首要障碍,特别是在28nm以下的先进制程领域,国内掩膜版技术与国际领先水平存在代差。在半导体掩膜版市场,国产化率仅为10%左右,高端掩膜版国产化率更是低至3%。
原材料和设备依赖进口是另一个严峻挑战。掩膜版的关键原材料如石英基板材料(尤其是中大型石英基板)、遮光膜等仍然依赖进口。生产掩膜版的核心设备——光刻机,供应商集中度较高,基本被瑞典Mycronic和德国海德堡仪器两家公司所垄断。
不过,国产替代也面临巨大的机遇。中国大陆晶圆厂的持续扩产为本土掩膜版公司可以提供了广阔的市场空间。随着芯片制程不断微缩、特色工艺多样化发展,对掩膜版的需求将持续增长。国家政策对半导体产业及关键材料国产化的支持也为产业链公司可以提供了有利环境。
国内掩膜版产业破局需要产业链协同努力。上游材料环节,需要加快高纯度石英砂和石英玻璃基板的研发与产业化,提升原材料自给率。中游掩膜制造环节,企业要持续加大研发投入,攻克先进制程掩膜版的技术难点,提升产品精度和良率。下游与晶圆厂、面板厂紧密合作,进入其供应链体系并通过验证至关重要。
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