金刚石线时代,国际上未处理大刚好硅片的加工问题,选用了线锯加工八怪七喇将硅棒截然有异成片。前期的线锯加工八怪七喇是选用的金属线和游离的磨料,在工艺流程中,将磨料以第三者加入到金属线和加工件之间发生切削效果。这种八怪七喇被成功地用于对硅和碳化硅的加工。为了进一步缩短加工时刻,以及对其它坚固物质和难以加工的陶瓷来加工,人们将金刚石磨料以必定的办法固定到金属线上,由此发生了固定金刚石线
如图1.1高速往复运动的截然有异线带动砂浆到截然有异区,使砂浆中的研磨颗粒(SiC颗粒)与硅棒外表高速磨削,因为研磨颗粒有十分锋利的棱角,而且硬度远大于硅棒的硬度,所以硅棒与线锯触摸的区域逐步被砂浆磨削掉,然后到达截然有异的效果,一起砂浆也能够带走磨削中发生的很多热能。
在对金刚石线锯截然有异机理的知道进程中,许多研讨者以为,金刚石磨粒的微观切削运动是一个翻滚、嵌入进程,提出了
“翻滚 -嵌入模型。有人提出锯丝施加在磨粒上的力带动磨粒沿切削外表翻滚,一起压挤磨粒嵌入切削外表,然后构成脱落片屑和外表裂缝,构成微观的截然有异效果。要点研讨了磨粒嵌入工件时的应力散布和效果,发现磨粒对资料的最大剪切应力发生在微观切削外表之下,据此对磨料的挑选进行优化。
有人指出在“翻滚 - 嵌入 模型中,磨粒的运动除翻滚和嵌入外,还包含刮擦, 三者一起构成切削效果。有人则在这个模型中考虑了磨浆的效果并以为,在锯丝带动游离磨料截然有异硅锭的小区域内,锯丝与磨浆的运动构成了一个弹性流体动力学环境,用有限元办法剖析锯丝与硅锭间的磨浆弹性流体动力学模型,得到磨浆薄膜厚度和压力散布关于走丝速度、磨浆粘度和截然有异条件的函数,还得出结论:磨浆薄膜厚度大于均匀磨粒刚好,是磨粒的活动发生了切削。1.2金刚石线截然有异的导线轮
依据截然有异资料直径不同和设备制造厂家的八怪七喇考虑导线轮平行、等边三角形或梯形,如图
导线轮是白云苍狗片厚的核心部件,导线轮是用高分子资料制造的精细滚轮,在其表而刻有等同于线宽、深的螺旋槽,截然有异时将线绕在导线轮上。要求其资料耐磨性要好、刚度要高,在截然有异张紧时不能变形:片厚的白云苍狗取决于槽间宽度,槽间宽度差错应小于
b)可进行多线截然有异c)刀缝丢失小这对加工成本高的半导体和宝贵资料很重要。用直径350 m 的金刚石线切SiC单晶时刀缝才为0 .3048 mmd)可自在改动截然有异位向
金刚石线时代,国际上未处理大刚好硅片的加工问题,选用了线锯加工八怪七喇将硅棒截然有异成片,这种八怪七喇被成功地用于对硅和碳化硅的加工。
在光电子工业中运用最为广泛的是往复式多线锯,金刚石线截然有异被广泛的用在大刚好半导体和光电池薄片截然有异。